[00635695]强流金属离子注入机MEVVA100
交易价格： 面议
类型： 非专利
交易方式： 资料待完善
联系人： 北京师范大学
所在地：北京
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技术详细介绍
该成果技术利用真空中的电弧在金属电极表面产生高温，使表面金属蒸发，形成高密度的等离子体。金属等离子体在几万伏外加电场加速下获得很高能量，以高速轰击到真空靶室内的加工工件表面，产生能量和质量沉积，使材料表面发生形态、成分和微结构的变化，达到增强材料表面功能，如增加硬度、增强韧性、减少摩擦、抵抗腐蚀等目的。该成果提供了为这一目的实现工业规模加工生产的装置。100型MEVVA源离子注入机整机主要由靶室、抽气系统、靶盘、离子源和控制系统组成。MEVVA100型离子源是该注入机的核心部件，由金属等离子体形成区和束流引出区两部分组成，具有离子束流强、种类多、纯度高、电荷态高、引出电压高、引出面积大等特点。