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[00635699]偏光干涉在物体几何形貌检测中的应用

交易价格: 面议

类型: 非专利

交易方式: 资料待完善

联系人: 天津大学

所在地:天津

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技术详细介绍

提出了一种应用晶体光学原理的新型物体几何形貌检测方法,介绍了新方法涉及到的晶体偏光干涉的原理,以及基于这个原理的形貌信号检测方法,并通过实验得到新方法的测量精度约为5微米,测量范围约为7毫米,且具有较好的动态特性。

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